东莞市莞鑫工业设备制造有限公司涡旋真空泵按两涡旋盘运动方式的不同可分为两种类型：公转型和回
转型。公转型涡旋真空泵中的一个涡旋盘固定不动，称为静涡旋，另一个涡旋盘称为动涡旋盘。电机带
动曲轴旋转，曲轴推动动涡旋盘基圆圆心绕静涡旋盘基圆圆心做半径为r(两涡旋盘之间的径向距离)的
圆周运动，由防自转机构限制动涡旋盘不能自转。其中电机转速通常约为1500r/min，此时泵的极限真
空度较高，并随电机转速的变化极限真空度变化较小。回转型涡旋真空泵中两个涡旋盘都是动涡旋盘，
它们同步同方向各自绕自身基圆圆心旋转，相对运动仍为公转平动。两种型式的涡旋真空泵，公转型式
的结构简单、零件少，回转型式的结构复杂、零件多。
1、美国Agilent公司的双面涡旋真空泵，动涡旋盘两面的涡旋齿为非对称设计，一面的涡旋齿为三
头涡旋齿，另一面的涡旋齿为单头涡旋齿，三头涡旋齿面与单头涡旋齿面同时工作，三头涡旋齿提高了
抽速，单头涡旋齿保证了极限真空度。
2、英国Edwards公司的单面单头涡旋齿涡旋真空泵，动盘与机架之间通过金属波纹管进行连接，波
纹管具有如下特点：①波纹管结构将泵内的真空环境与泵内轴承和外界环境进行了隔离，使密封真空腔
的密封圈为静密封，这样达到了泵腔内完全无油；②波纹管结构提供了防止动盘自转的作用，替代了常
用的曲拐防自转机构，使得结构更紧凑；③波纹管结构可以根据动盘受力的变化提供轴向和径向的补偿
；④由于波纹管的扭动，增大了扭矩，电机功率增加。由于此泵是单头单面设计，所以其抽速较低。
3、德国Busch公司生产的涡旋真空泵是两级形式，即两个动、静涡旋盘副，有效的减少了外界气体
向泵内膨胀所产生的热量。Bucsh的涡旋真空泵不适合抽水蒸气，但其产品外型紧凑、美观，运转平稳
，振动、噪音都较小，2~3年更换密封件，维护简单、方便。
4、中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司的双面单头涡旋齿涡旋真空泵，抽速较高，由于其
动涡旋结构具有对称性，所以其可自平衡轴向气体力，简化了主轴的受力情况。但由于泵腔中安装轴承
，会存在返油现象，降低极限真空度，达不到完全无油效果。
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